ARL9800型X荧光光谱仪常见故障分析与解决方案
ARL9800型X荧光光谱仪由五个系统组成,包括P10气路控制系统,冷却水循环系统,真空系统,探测系统和电路系统， 每个系统相互独立但同时又互为连锁，因此，在日常的仪器维护和故障分析过程中，我们应根据故障现象，提示的信息，逐一排查，从而能准确定位并及时排除。
一、P10气路控制系统
注：V1阀调节FPC探测器的压力，V2阀调节气体流量，V3阀是安全阀，用来平衡探测器和大气的压力
P10气瓶上装有减压阀，该阀有2级。高压级测量钢瓶内的压力，量程范围在0~25Mpa，低压级是指示减压后的输出压力，量程在0~0.16Mpa。通过V1、V2、V3三个阀门的调控，使FPC探测器的P10气压力为105.5Kpa，流量约20ml/min。
日常工作中P10气路常见的问题与故障：FPC压力、流量偏低或异常
反应于计算机屏幕出现下列警报：（可能还有其它报警信息）
① F-FPC pressure error too big(探测器压力太高错误)
② W-XGT HVPS interlock open（XGT 高压电源互锁打开）
③ F-FPC flow error too big（探测器流量太高错误）
④ W-FPC pressure not reached yet（探测器压力达不到规定值）
⑤ F-FPC window test failure（探测器窗口测试失败）
出现上述的情况说明FPC探测器内的流量和压力达不到规定值而一直处在调控过程，这表示气路或气路控制系统存在问题，需作检查，检查步骤如下：
1. 检查钢瓶减压阀出口压力是否处于规定值0.025~0.030Mpa
2. 改变钢瓶减压阀出口压力或者更换P10气瓶之后必须采用终端指令让控制系统重新调整
3. 如果不能正常，则必须检查气体调控相关部件。
4. 检查从钢瓶减压阀出口起的气体连接管路是否有地方堵塞或泄露
5. 检查FPC窗膜是否破裂。
二、循环水系统
ARL9800型X 荧光光谱仪的外循环水系统的作用是冷却内循环水和光谱室，水路图如下：
上下两个阀V1阀和V3阀门控制X光管的外循环水的，中间的V2阀门使控制光谱室温度的，即通过V2的阀外循环冷却水通过热交换器与二次循环水实现热量交换，从而达到冷却X光管的目的。外循环水和二次循环水相互独立，但在某些故障的处理上又互相影响。
日常工作中循环水路常见的问题与故障：外循环水流量不连续、二次水流量不连续、二次水电阻率偏低
反应于计算机屏幕出现下列警报：（可能还有其它报警信息）
① F-Primary water sensor error(初级水指示转子不能顺利启动)
② W-Tank temperature not reached yet（箱体温度达不到要求）
③ W-Tank temperature too low（箱体温度太高）
④ W-Tank temperature too high（箱体温度太低）
⑤ W-Secondary water resistivity too low（二次水电阻率太低）
⑥ W-Secondary water temperature incoherency（二次水温不连续）
⑦ F-Secondary water flow off（二次水流关闭）
出现上述的一些情况说明内外循环水系统控制存在问题，检查步骤可如下：
１、检查外循环水是否干净：若外循环水不干净，容易将外循环水阀门、水管路、水管路接头和过滤器堵住，此时若启动外循环水，仪器的外循环水流量指示转子就会上浮，但是循环过程中因遇到阻力，转子会掉下，导致外水循环不能顺利启动，因此不能实现与二次水的热量交换。
２、检查外循环水阀门、管路和流量转子，更换或者清洁，并紧固水管的所有接头
３．检查二次循环水的阀门、管路和流量转子，检查二次水箱水的容量，水位偏低造成流量不足可能引起温度的不连续
４．二次水电阻率偏低，采用终端指令控制，如水电阻率仍然达不到要求，则需更换离子交换树脂。
三、真空系统
ARL 9800真空系统的作用是将分光探测系统置于大气低于8Pa的环境下，降低背景干扰，提高分辨率，尤其是提高了轻元素的检测限，光谱室的真空度,主要依靠真空油泵（1,4,5）和分子泵(2,3) 的配合作用将仪器环境设置为真空，真空油泵作预处理，分子泵作微处理，根据实际经验，如果真空油泵、分子泵、真空密封正常，光谱室真空压力应能降至大气≦8Pa（0~8Pa），一旦光谱室真空压力逐渐提高至≧8Pa，则出现Spectrometer pressure too high警报。光谱室真空压力可采用ICS status reporter 于计算机屏幕监控primary spectrometer pressure。
光谱室真空压力速率的变化观察，对于正确判断排除故障部位至关重要，一旦工作中出现真空≧8Pa，则必须解决真空问题。正常情况下，箱体压力应能降至8Pa以下甚至更低，分子泵速率2.7*e4r/min，温度稳定在20℃，电流0.6A左右，电压35V左右。
日常工作中真空系统常见的问题与故障：真空达不到指定值，分子泵转速低于2.7*e4r/min，在从大气到真空的过程中，分子泵多次出现温度过高的警报
反应于计算机屏幕出现下列警报：（可能还有其它报警信息）
① F-Spectrometer pressure too high
② W-Molecular speed too low
③ W- Molecular voltage too low
④ W-Molecular blocked
出现上述的一些情况说明仪器密封性能、分子泵性能存在问题，解决步骤大致可从下面几个方面。
根据ARL9800型X荧光光谱仪仪器机械、真空管路结构分析，导致其真空性能变坏的可能性依次为：
1、进样口黄铜盖底部密封环，易为空气中灰尘玷污；
2、光管上部，光谱室-样品真空室-大气隔离BELL钟形罩上密封环，易受样品粉末污染及空气中灰尘玷污，如条件许可，需定期涂密封油；
3、样品升降杆密封套，易机械磨损；
4、真空油泵、分子泵机械磨损，排气量降低，应定期加油；
5、真空油泵和分子之间的气管接头，紧固排气管路的所有接头
6、手动放气阀是否松动
7、如有必要更换试样室的进、放气阀。
四、电源系统：主要包括电子柜、外接电源及辅助设备、X光管系统
电路部分问题，其更换/维修目的性很明确，哪块电路板坏则更换或维修哪块，ARL9800电子板设有错误指示灯，这对迅速找出电路问题很有帮助。
根据经验，电源系统故障率高的为X光管高压发生器。
日常工作中X光管高压发生器常见的问题与故障：高压发生器不能建立高压，或者在建立高压的过程中中断的现象。
反应于计算机屏幕出现下列警报：（可能还有其它报警信息）
① F-Time out on X-ray on ack or the X-ray Lamp fault（X-ray 响应信息超时，或X-ray灯坏）
② F-X-ray power supply fault（X-ray电源错误）
出现上述的警报，一般的检查步骤是：
1.P10气压力/流量，循环冷却水路是否畅通，二次水电阻率，真空压力，分子泵工作情况是否均正常
2.检查安全连锁开关是否都正常
3.检查X-ray Lamp灯丝是否损坏
4.检查外接电源及辅助设备
5.高压发生器清灰，更换高压垫片并涂高压硅油
6.如以上五步骤均正常或实施，依然不能建立高压，可初步判断高压发生器损坏
四、X荧光仪调试
1.检查电子和机械功能;
2.满功率测试，将光管加到满功率，为60kV/60mA和30kV/120mA，检查是否正常;
3.晶体和探测器组合的位置检查和校正，检查晶体和探测器组合的扫描位置，峰值是否符合QA/QC报告;
4.高压校正，通过能谱检查XRF测角仪和固定道的高压校正和探测器的分辨率，峰值是否在窗口内;
5.测试XRF短期和长期稳定性，是否符合QA/QC报告.
